Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах

Abstract

Посвящена основам теории, методам расчета и оптимизации сложных высоковакуумиых систем. Изложены теоретические модели п базирующиеся ни них способы определения параметров сильно разреженного газа п характеристик элементов вакуумных систем. Приведены методика и результаты вычислений пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных камерах, пропускной способности каналов и трубопроводов. Предложена математическая модель и рассмотрены особенности расчета насосов постного действия, методы их оптимизации.