Материаловедение в микроэлектронике

dc.contributor.author	Палатник Л.С., Сорокин В.К.
dc.date.accessioned	2016-02-21T14:38:58Z
dc.date.available	2016-02-21T14:38:58Z
dc.date.issued	1978
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/30394
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher	Энергия
dc.subject	Техника\\Материаловедение
dc.subject	Technique\\Materials
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Материаловедение в микроэлектронике
dc.type	other
dc.identifier.aich	GNEMX4R4V4TJVPYKMBCX47BJS7TCUCZT
dc.identifier.crc32	102BF609
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	8852CD064F134FEA7C9C7D3CB8E6ABB9
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	2003
dc.identifier.md5	0C9FF3565C1F575BF55C3DC3D1144D71
dc.identifier.sha1	4LP7A6Z375GX2W4ZNYHIAZUGJHMW2BBW
dc.identifier.tth	4C44TZSBQVIEOOVVNU7IEB4FUVCINXVU7TEP72A