| dc.contributor.author | К.Могэб, Д.Фрейзер, У.Фичтнер, Л.Паррильо, Р.Маркус, К.Стейдел, У.Бертрем. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского. | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-21T16:33:15Z | |
| dc.date.available | 2016-02-21T16:33:15Z | |
| dc.date.issued | 1986 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/32699 | |
| dc.description.abstract | Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технодогия, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Мир Редакция литературы по новой технике | |
| dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
| dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Технология СБИС: В 2-х кн. | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | GZI46AJNDNOZ4BHIYF2MAGIXXV7M2RX5 | |
| dc.identifier.crc32 | 98B32EC2 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | 1336E79DAD9CD49C8392CC0827B07B44 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1214041 | |
| dc.identifier.md5 | 157c10bfad669528485bf63efc1e11c4 | |
| dc.identifier.sha1 | MBJHXQMBTJ6FGS4LDZU3VX3NBDW2XETU | |
| dc.identifier.tth | GPCDBMKJIPLU26PBX2PGAC3WKJ7GZXYD7YYNX5A | |
