dc.contributor.author | Майссел Л., Глэнг Р. | |
dc.date.accessioned | 2016-02-21T16:48:07Z | |
dc.date.available | 2016-02-21T16:48:07Z | |
dc.date.issued | 1977 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/32984 | |
dc.description.abstract | Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др Справочник издается в двух томах.
В т. 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры.
Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов
радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок. | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Советское радио | |
dc.subject | | |
dc.subject | | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология тонких пленок (справочник) | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | AQNIQCYDYFOQVUEKRJHY77A4YZ3N3GKZ | |
dc.identifier.crc32 | 9D0BED59 | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | E7B705D378B8ADA18779531E101B6659 | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | 539.216.2.002.(031) | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 852824 | |
dc.identifier.md5 | 16b819f082e7e1ba9f3227cd517e6415 | |
dc.identifier.sha1 | RJ2DIC63LOI764VHTP7TDK45KWCSED4A | |
dc.identifier.tth | XPFZ4KW7VLQ44V75ESH4O4DFWFD4AZ3PLQJR7EA | |