Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы. Обзорная информация

Abstract

Аннотация издательства: Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулированы принципы их геометрической и технико-экономической оптимизации. Изложены основы проектировочного расчета насосов, требования к их функциональным элементам. Описаны конструктивно-технологические характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов на основе термических и плазменных источников возобновляемых геттерных пленок, конструкций интегрированного вакуумного тракта установок на их основе. Рассмотрены особенности эксплуатации вакуумных систем с испарительными насосами. Обзор предназначен для специалистов вакуумного машиностроения и приборостроения.