| dc.contributor.author | Боков Юрий Сергеевич | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-22T07:00:26Z | |
| dc.date.available | 2016-02-22T07:00:26Z | |
| dc.date.issued | 1982 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/48783 | |
| dc.description.abstract | Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Радио и связь | |
| dc.subject | Техника\\Электроника: Радио | |
| dc.subject | Technique\\Electronics: Radio | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Фото-, электроно- и рентгенорезисты | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | 3DXOBSQ4WGMMDPPVSUCNXWS2Z27ZK5EM | |
| dc.identifier.crc32 | 95FB51B0 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | 86F6D3AB11F7C6D956503556459F6B38 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1214462 | |
| dc.identifier.md5 | 62d7e56c055831e46b4cef7bb3500bd9 | |
| dc.identifier.sha1 | YN6HCVKR3KDGX3NQ4CPYBAZVFRGK44V7 | |
| dc.identifier.tth | 5XBF3CPMX5WT57BHZBIOBEVZL3P5C5EWFHB7S2Q | |
