dc.contributor.author | Блинов И.Г. | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T07:35:23Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T07:35:23Z | |
dc.date.issued | 1986 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/49416 | |
dc.description.abstract | | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Машиностроение | |
dc.subject | | |
dc.subject | | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Оборудование полупроводникового производства | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | UHJKHCVMSNXLGUAPOZVHDLXE5KZLXFPE | |
dc.identifier.crc32 | A9CE7145 | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | 72E9742475CB2394340CF5F77C6829FC | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1329518 | |
dc.identifier.md5 | 660f7c228c9d508c79fb856989440d35 | |
dc.identifier.sha1 | A5R2YSA2DHBEDR2AHRRXUBN6LZZBNRRW | |
dc.identifier.tth | F7ADDZ5CVF4UCXQFGZH5HMYQZIBLTIWC3ITAYAQ | |