Show simple item record

dc.contributor.authorБлинов И.Г.
dc.date.accessioned2016-02-22T07:35:23Z
dc.date.available2016-02-22T07:35:23Z
dc.date.issued1986
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/49416
dc.description.abstract
dc.language.isoRussian
dc.publisherМашиностроение
dc.subject
dc.subject
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleОборудование полупроводникового производства
dc.typeother
dc.identifier.aichUHJKHCVMSNXLGUAPOZVHDLXE5KZLXFPE
dc.identifier.crc32A9CE7145
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey72E9742475CB2394340CF5F77C6829FC
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1329518
dc.identifier.md5660f7c228c9d508c79fb856989440d35
dc.identifier.sha1A5R2YSA2DHBEDR2AHRRXUBN6LZZBNRRW
dc.identifier.tthF7ADDZ5CVF4UCXQFGZH5HMYQZIBLTIWC3ITAYAQ


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record