Вакуумные машины и установки

Abstract

В книrе изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумноrо оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машии, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин.