dc.contributor.author | Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T11:56:31Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T11:56:31Z | |
dc.date.issued | 1977 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/54395 | |
dc.description.abstract | Справочник по технологии тонких пленок — наиболее
современное и фундаментальное издание, посвященное
тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое
применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ
и космической технике и др. Справочник издается в двух
томах. В т. 1 включены гл. 1—7, в т. 2—гл. 8—21.
В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких
пленок: их *рост и структура, методы ее исследования, толщина
и химический состав пленок, а также зависимость их
структуры от технологии.
Излагаются физические свойства полупроводниковых
диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и
сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок
от технологии. Отражены также основные направления
применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ
устройствах, создании дискретных электронных элементов.
Книга является универсальным справочным пособием для
широкого круга инженеров и конструкторов
радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем
и радиоэлектронных элементов, научных работников,
аспирантов и студентов, специализирующихся в области
микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких
пленок. | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Советское радио | |
dc.subject | | |
dc.subject | | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология тонких пленок | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | 4OWL5LB6MNPHF7FWKAD4OTLC323LPLSD | |
dc.identifier.crc32 | 1307E554 | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | D59F6C3B70527B8B91BD7753EF56F6FB | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | 539.216.2.002.(031) | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 854267 | |
dc.identifier.md5 | 7b4df95a3d6c9249c7924d370ee282ee | |
dc.identifier.sha1 | KNJ5BEZBLRNSUAZDGI23626E4DQPNKC5 | |
dc.identifier.tth | VIERL7KUJRD3KO2H37QOECM2WKEQFIQXX3CQE4A | |