Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Общая технология

dc.contributor.author	И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов
dc.date.accessioned	2016-02-22T12:21:54Z
dc.date.available	2016-02-22T12:21:54Z
dc.date.issued	1989
dc.identifier.isbn	5-06-000303-5
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/54895
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher	Высшая школа
dc.subject	Техника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subject	Technique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Общая технология
dc.type	other
dc.identifier.aich	TGJ6DO2EWNGFUPWAQGVDCPHKA5TRDMEZ
dc.identifier.crc32	DCDD5543
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	957E349B74967778DE17C228E9F6AC96
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	1231259
dc.identifier.md5	7ec55594fbf1a6d1b58dc3ab334010ae
dc.identifier.sha1	MZZI43ORTTX3PHZMKJ2EI6AVB3S5IOAZ
dc.identifier.tth	GDUZGZP7FRLCL6535M36OMIKU6B2TB7X7DKLBYI