Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] Кн. 8 Литографические процессы

View/Open

80139fae1b26d130f1f0a8b076500627.djvu (1.617Mb)

Date

1990

Author

В.В. Мартынов, Т.Е. Базарова

Metadata

Show full item record

Abstract

 

URI

http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/55069

Collections

• Libgen [81666]