Основы вакуумной техники. (Fundamentals of Vacuum Science and Technology)

Abstract

Аннотация издательства: На современном научном уровне излагаются основы техники получения и измерения высокого вакуума, рассматриваются практические методы расчета вакуумных систем и их отдельных элементов. Подробно описаны процессы взаимодействия атомов и ионов с поверхностями твердых тел при низких давлениях. Книга предназначена для специалистов вакуумщиков.