| dc.contributor.author | Белов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И. | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-22T14:12:51Z | |
| dc.date.available | 2016-02-22T14:12:51Z | |
| dc.date.issued | 1991 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/57065 | |
| dc.description.abstract | В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массооб-мена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | | |
| dc.subject | Техника\\Электроника | |
| dc.subject | Technique\\Electronics | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | IDVYZ4NW3BTV2QC7UPZT6NLBHXOX5F2M | |
| dc.identifier.crc32 | 9AEC6D03 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | DE72F8EC3611F49FE26CCC92EFF54188 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1223711 | |
| dc.identifier.md5 | 89c7ada08b3840984b9f301a6c601c68 | |
| dc.identifier.sha1 | 2D3N4CPZER2BXLUJTICSPVX7ETNX6LLZ | |
| dc.identifier.tth | Z2X6EFUEP4TJQ4DKRIJQJIZYCVJD64VKRU3NBOI | |
