dc.contributor.author | С.Н. Никифорова-Денисова | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T14:51:59Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T14:51:59Z | |
dc.date.issued | 1989 | |
dc.identifier.isbn | 506000306X | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/57863 | |
dc.description.abstract | | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Высшая школа | |
dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Механическая и химическая обработка | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | I6ZBQCCNWR3LK6IHWS2DIZMYRQBCNNRE | |
dc.identifier.crc32 | 0FAF5B3A | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | F6EBFB8C6DF4E2163674E4B6A9642086 | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1246603 | |
dc.identifier.md5 | 8c6eae8dffd119b64b7254efedeb6c41 | |
dc.identifier.sha1 | 3XT55H53PQELTWYVCSBXV3LC4ULATIMV | |
dc.identifier.tth | 75RJOFWN53KLLZWS3NNOX2MLVL5GBIH3VTUSJEI | |