| dc.contributor.author | Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова. | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-22T15:53:53Z | |
| dc.date.available | 2016-02-22T15:53:53Z | |
| dc.date.issued | 1984 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/59065 | |
| dc.description.abstract | Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Радио и связь | |
| dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
| dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | IBQEEEIHVPDEMM7MU4HBVWUBUIISDGSD | |
| dc.identifier.crc32 | 09239229 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | BD5EAC2C3CA4D6E89BAE61FC9552FC0C | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1213348 | |
| dc.identifier.md5 | 9367c8604a210a0c585b5ebd7118c7a4 | |
| dc.identifier.sha1 | RPLVAIJ6SUKGLQDYYFU2GP2KEYVRN2YO | |
| dc.identifier.tth | ONB4EL7QIXDUKK3ZATNGSSTN6ZXKBTVZBEDAT6I | |
