Современные турбомолекулярные и электрофизические насосы. Обзорная информация

Abstract

Аннотация издательства: В обзоре рассматриваются современное состояние и тенденции развития высоковакуумных насосов двух перспективных классов - турбомолекулярных и электрофизических. Приводятся конструктивно-физические характеристики насосов, разработанных в Советском Союзе и за рубежом за последнее десятилетие, их основные параметры и эксплуатационные особенности. Наибольшее внимание уделяется насосам, выпускаемым в промышленных масштабах. Обзор предназначен для специалистов исследовательских и проектно-конструкторских организаций вакуумного аппарато- и машиностроения, научного вакуумного приборостроения и смежных отраслей. Обзор составлен по опубликованным отечественным и зарубежным материалам и патентам.