dc.contributor.author | С.Л. Никифорова-Денисова, Е.Л. Любушкин | |
dc.date.accessioned | 2016-03-24T08:08:04Z | |
dc.date.available | 2016-03-24T08:08:04Z | |
dc.date.issued | 1989 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/70781 | |
dc.description.abstract | | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | | |
dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Термические процессы | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | SF6ETQ6PYIOXIZF6H3RAGK33WLBUD7VF | |
dc.identifier.crc32 | 9F1E8086 | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | 8A6059423D8663432A4484171EED6974 | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1231513 | |
dc.identifier.md5 | b37d72cb962a27632c1a243c0cb70219 | |
dc.identifier.sha1 | HMXZUFFGDVVDLA7LWVLJ5XE4ZIMM6NDN | |
dc.identifier.tth | IOGJCRCFL6DNN65BPUCD5THJYNF6ZJ5RCUNHAJQ | |