Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Нанесение пленок в вакууме

dc.contributor.author	Минайчев В.Е.
dc.date.accessioned	2016-03-24T11:19:26Z
dc.date.available	2016-03-24T11:19:26Z
dc.date.issued	1989
dc.identifier.isbn	5-06-000308-6
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/74743
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher	Высшая школа
dc.subject	Техника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subject	Technique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Нанесение пленок в вакууме
dc.type	other
dc.identifier.aich	JJ77ZGIODM4I7WYPR2IBNJKLCH7NYJAF
dc.identifier.crc32	231D9F1A
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	04A8C4A16930A7978248F2C218F511B8
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	1231271
dc.identifier.md5	d0335434e52af20101057ee502b51a28
dc.identifier.sha1	K5O3LG7ZUHCUCUOSSS7X6RVBCLTQ6WVQ
dc.identifier.tth	ZQTXTQXX4YND5KTAU6VQ2BIGP2A4G6APZ6PZZKI