Показати скорочений опис матеріалу

dc.contributor.authorХасс Г., Тун Р. Э. (ред)
dc.date.accessioned2016-03-24T11:50:38Z
dc.date.available2016-03-24T11:50:38Z
dc.date.issued1967
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/75441
dc.description.abstractКнига представляет собой третий том периодического издания «Физика тонких пленок*; первые два тома вышли в свет в русском переводе в 1967 г. Книга состоит из шести обзорных статей, в которых отражено современное состояние исследований в области тонких пленок. Статьи написаны известными американскими и английскими специалистами. Четыре статьи посвящены актуальным методическим проблемам получения пленок с заданными свойствами. В них рассматриваются следующие вопросы: управляемое нанесение пленок, получение покрытий методами катодного распыления, нанесение диэлектрических пленок из газовой фазы, методы активации и рекристаллизации пленок соединений АПВУ1. В двух последних статьях описаны механические свойства пленок и свойства пленок солей свинца, на основе которых изготовляются детекторы ИК-излучения. Книга рассчитана на широкий круг лиц, интересующихся вопросами физики тонких пленок, а также проблемами технологии их получения и методами исследования. Она представляет несомненный интерес для специалистов (научных работников и инженеров), работающих в области тонкопленочной электроники и в ряде других близких областей (полупроводниковая электроника, вакуумная техника, оптика и т. д.).
dc.language.isoRussian
dc.publisherМир
dc.subjectФизика
dc.subjectPhysics
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleФизика тонких пленок
dc.typeother
dc.identifier.aichIEIA4ZDIGXZUQONCBQALTXUZXWHFRHAR
dc.identifier.crc32476D7E74
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey07373B623FF9ECAA76ECCF1170CA9C47
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk539.216.2
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid852689
dc.identifier.md5d4ee6f2967a1db53b9da0e1e1a7a3334
dc.identifier.sha15NO63WQ4SSOF27TT5FMXWTR3CAJ5IWW2
dc.identifier.tthTHOS4V5J3VSVKSTL53FTSD3YBJA6YMQ7S4M57KA


Долучені файли

Thumbnail

Даний матеріал зустрічається у наступних фондах

Показати скорочений опис матеріалу