dc.contributor.author | Мокеев, Олег Константинович;Романов, Александр Сергеевич;авт | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T01:27:04Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T01:27:04Z | |
dc.date.issued | 1984 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/42733 | |
dc.description.abstract | | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Высш. шк | |
dc.subject | Техника\\Электроника | |
dc.subject | Technique\\Electronics | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология полупроводникового производства | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | C7BDE5ZZZOYLC45ZSISKGGKUFFG7XJLY | |
dc.identifier.crc32 | F03DB2DB | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | C9ADA4A39F6A474B760645C2E63BACED | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 913458 | |
dc.identifier.md5 | 468a1463fac7bdbf479a24eae105415f | |
dc.identifier.sha1 | SCYE3PTIHYU5OER37QS634O6JSQLN4TQ | |
dc.identifier.tth | BGI27SBCD2TAQZFGLFE5EQXP2XDMNOIL6I7IDZA | |