| dc.contributor.author | Минайчев Виктор Егорович | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-22T05:18:31Z | |
| dc.date.available | 2016-02-22T05:18:31Z | |
| dc.date.issued | 1978 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/46810 | |
| dc.description.abstract | Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Машиностроение | |
| dc.subject | Техника | |
| dc.subject | Technique | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Вакуумное оборудование для нанесения пленок | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | ZI3U4SZ4U4KBPCH57R4FC3K5LGRKIYUK | |
| dc.identifier.crc32 | D49D2296 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | 839AB8588D54C275B5586BE295824610 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 49788 | |
| dc.identifier.md5 | 5A26E492D988D2649DBF3C90A16759EA | |
| dc.identifier.sha1 | OSSRMH4I5AODQYFJDNKS4DWTWA4XSVZB | |
| dc.identifier.tth | IKZJDRSQB4MM22WG2CPSJ7IKHY3R55XMQWIJN5A | |
