| dc.contributor.author | Данилин Борис Степанович | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-22T12:35:03Z | |
| dc.date.available | 2016-02-22T12:35:03Z | |
| dc.date.issued | 1987 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/55152 | |
| dc.description.abstract | Аннотация издательства: В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Машиностроение | |
| dc.subject | Техника | |
| dc.subject | Technique | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | WY2WFAT5K3VTR6TDWLZFDUVAYOZTNEOX | |
| dc.identifier.crc32 | C6567987 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | 64BCC58CB418D3E40ED1DD85E751A391 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 51141 | |
| dc.identifier.md5 | 807F147407832BCF9678FCF5B531C5AE | |
| dc.identifier.sha1 | THVFCX53GINV7A22A2SPJQ4ALSBMVY2J | |
| dc.identifier.tth | DO2MN626H5XN7DMZ5Z4QMB72GLMYJTDXW5L3RRA | |
