Показать сокращенную информацию

dc.contributor.authorМайссел Леон, Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко.
dc.date.accessioned2016-03-24T15:57:32Z
dc.date.available2016-03-24T15:57:32Z
dc.date.issued1977
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/80444
dc.description.abstractСправочник по технологии тонких пленок' наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1?7, в т. 2' гл. 8?21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
dc.language.isoRussian
dc.publisherСоветское радио. Редакция литературы по электронной технике
dc.subject
dc.subject
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleТехнология тонких пленок. Справочник
dc.typeother
dc.identifier.aichLAWB4IZEAASKBBJBH2CZUIMEHXS7N4AZ
dc.identifier.crc325CFCF339
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkeyCF0CB1141973C3AD90F1E13FC625886A
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1220810
dc.identifier.md5f82a8510698c003b6f39f1179c5fb1b2
dc.identifier.sha1WYM7T5T3KFZS2XWXK4BSCIG5SXHSDPJE
dc.identifier.tthD5TOQAVWLFT2YD2FKHUZREMIKYL2S6UIRJDWOMQ


Файлы в этом документе

Thumbnail

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию