dc.contributor.author | О.С. Моряков | |
dc.date.accessioned | 2016-02-21T22:22:14Z | |
dc.date.available | 2016-02-21T22:22:14Z | |
dc.date.issued | 1990 | |
dc.identifier.isbn | 5-06-001079-1 | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/39445 | |
dc.description.abstract | | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Высш. шк., | |
dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] / Кн. 7 Элионная обработка | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | LRMOGNULEHS2Q73Y5TKMJ2EVHUJXWK5K | |
dc.identifier.crc32 | B817B33F | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | 952C873EBE2552FCC22C2DC2CE8A58ED | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1231255 | |
dc.identifier.md5 | 368588765084e4cc4471dfa09c579dd1 | |
dc.identifier.sha1 | EVTQQA3MYHO2JF6S52TBKAJWWJ7U5WJ7 | |
dc.identifier.tth | GMZICPI2PIUUUAVUZQXRTPLRA5XVBJBNWTXSDKQ | |