Show simple item record

dc.contributor.authorО.С. Моряков
dc.date.accessioned2016-02-21T22:22:14Z
dc.date.available2016-02-21T22:22:14Z
dc.date.issued1990
dc.identifier.isbn5-06-001079-1
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/39445
dc.description.abstract
dc.language.isoRussian
dc.publisherВысш. шк.,
dc.subjectТехника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subjectTechnique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] / Кн. 7 Элионная обработка
dc.typeother
dc.identifier.aichLRMOGNULEHS2Q73Y5TKMJ2EVHUJXWK5K
dc.identifier.crc32B817B33F
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey952C873EBE2552FCC22C2DC2CE8A58ED
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1231255
dc.identifier.md5368588765084e4cc4471dfa09c579dd1
dc.identifier.sha1EVTQQA3MYHO2JF6S52TBKAJWWJ7U5WJ7
dc.identifier.tthGMZICPI2PIUUUAVUZQXRTPLRA5XVBJBNWTXSDKQ


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record