Zur Kurzanzeige

dc.contributor.authorВ.Е.Минайчев, В.В.Одиноков, Г.П.Тюфаева.
dc.date.accessioned2016-02-22T01:38:51Z
dc.date.available2016-02-22T01:38:51Z
dc.date.issued1979
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/42961
dc.description.abstractАннотация издательства: Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов. Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».
dc.language.isoRussian
dc.publisherЦНИИ «Электроника»
dc.subjectКомпьютеры\\Базы данных
dc.subjectComputers\\Databases
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleМагнетронные распылительные устройства (магратроны). Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг
dc.typeother
dc.identifier.aich6JFWL2NCSNKY6WGMR6S4V5BLNOJOBM6H
dc.identifier.crc32A71271DA
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkeyDC27990FB7E16BE600BAB485B85D1861
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid50729
dc.identifier.md547A0D9AFF17FF1A930868E3E323389EF
dc.identifier.sha1VJCSQ34FFV4RFRVJMYW2YBTQOHQGOEL7
dc.identifier.tth2X2QJQHIOOZQLECLGLBQJON4SH2ID63DQIRAGEI


Dateien zu dieser Ressource

Thumbnail

Das Dokument erscheint in:

Zur Kurzanzeige