| dc.contributor.author | В.Е.Минайчев, В.В.Одиноков, Г.П.Тюфаева. | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-22T01:38:51Z | |
| dc.date.available | 2016-02-22T01:38:51Z | |
| dc.date.issued | 1979 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/42961 | |
| dc.description.abstract | Аннотация издательства: Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов. Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение». | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | ЦНИИ «Электроника» | |
| dc.subject | Компьютеры\\Базы данных | |
| dc.subject | Computers\\Databases | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Магнетронные распылительные устройства (магратроны). Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | 6JFWL2NCSNKY6WGMR6S4V5BLNOJOBM6H | |
| dc.identifier.crc32 | A71271DA | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | DC27990FB7E16BE600BAB485B85D1861 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 50729 | |
| dc.identifier.md5 | 47A0D9AFF17FF1A930868E3E323389EF | |
| dc.identifier.sha1 | VJCSQ34FFV4RFRVJMYW2YBTQOHQGOEL7 | |
| dc.identifier.tth | 2X2QJQHIOOZQLECLGLBQJON4SH2ID63DQIRAGEI | |
