Mostra i principali dati dell'item
Магнетронные распылительные устройства (магратроны). Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг
dc.contributor.author | В.Е.Минайчев, В.В.Одиноков, Г.П.Тюфаева. | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T01:38:51Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T01:38:51Z | |
dc.date.issued | 1979 | |
dc.identifier.isbn | ||
dc.identifier.issn | ||
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/42961 | |
dc.description.abstract | Аннотация издательства: Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов. Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение». | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | ЦНИИ «Электроника» | |
dc.subject | Компьютеры\\Базы данных | |
dc.subject | Computers\\Databases | |
dc.subject.ddc | ||
dc.subject.lcc | ||
dc.title | Магнетронные распылительные устройства (магратроны). Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | 6JFWL2NCSNKY6WGMR6S4V5BLNOJOBM6H | |
dc.identifier.crc32 | A71271DA | |
dc.identifier.doi | ||
dc.identifier.edonkey | DC27990FB7E16BE600BAB485B85D1861 | |
dc.identifier.googlebookid | ||
dc.identifier.openlibraryid | ||
dc.identifier.udk | ||
dc.identifier.bbk | ||
dc.identifier.libgenid | 50729 | |
dc.identifier.md5 | 47A0D9AFF17FF1A930868E3E323389EF | |
dc.identifier.sha1 | VJCSQ34FFV4RFRVJMYW2YBTQOHQGOEL7 | |
dc.identifier.tth | 2X2QJQHIOOZQLECLGLBQJON4SH2ID63DQIRAGEI |
Files in questo item
Questo item appare nelle seguenti collezioni
-
Libgen [81666]