Материаловедение в микроэлектронике

dc.contributor.author	Палатник, Сорокин
dc.date.accessioned	2016-02-22T11:20:34Z
dc.date.available	2016-02-22T11:20:34Z
dc.date.issued	1977
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/53666
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher
dc.subject	Техника\\Материаловедение
dc.subject	Technique\\Materials
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Материаловедение в микроэлектронике
dc.type	other
dc.identifier.aich	HOROYV35WSX62YU26BWXATZEFHZSRGQW
dc.identifier.crc32	603A0944
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	129812D623EEFA9FA0064142D72D027C
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	925827
dc.identifier.md5	796f86ea67c273fac0a0d58a7b0e6bfe
dc.identifier.sha1	OIQ5VJ4A4W62MIALLV6OS7BOZJWTYCEO
dc.identifier.tth	DXRTACSTEWGQEG64LWTVFXMHXUE3QN4NQU4WXPY