Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.]  Кн. 8 Литографические процессы

dc.contributor.author	В.В. Мартынов, Т.Е. Базарова
dc.date.accessioned	2016-02-22T12:30:45Z
dc.date.available	2016-02-22T12:30:45Z
dc.date.issued	1990
dc.identifier.isbn	5-06-001080-5
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/55069
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher	Высш. шк.
dc.subject	Техника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subject	Technique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] Кн. 8 Литографические процессы
dc.type	other
dc.identifier.aich	YCZ2KWMUC77NYDDJSI76TA4Z3LEFU3MV
dc.identifier.crc32	4C015E22
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	A37A7E21E68CB1830140201D88D611DC
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	1246560
dc.identifier.md5	80139fae1b26d130f1f0a8b076500627
dc.identifier.sha1	RLF7N5RMQ2GZKVMZCX25SGO7GKUUKTM5
dc.identifier.tth	2CYRVY77HW3MSGOXMS4PAAU2CDVUQGPKYPSBAAA