Zur Kurzanzeige

dc.contributor.authorБелов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И.
dc.date.accessioned2016-02-22T14:12:51Z
dc.date.available2016-02-22T14:12:51Z
dc.date.issued1991
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/57065
dc.description.abstractВ монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массооб-мена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.
dc.language.isoRussian
dc.publisher
dc.subjectТехника\\Электроника
dc.subjectTechnique\\Electronics
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleМоделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
dc.typeother
dc.identifier.aichIDVYZ4NW3BTV2QC7UPZT6NLBHXOX5F2M
dc.identifier.crc329AEC6D03
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkeyDE72F8EC3611F49FE26CCC92EFF54188
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1223711
dc.identifier.md589c7ada08b3840984b9f301a6c601c68
dc.identifier.sha12D3N4CPZER2BXLUJTICSPVX7ETNX6LLZ
dc.identifier.tthZ2X6EFUEP4TJQ4DKRIJQJIZYCVJD64VKRU3NBOI


Dateien zu dieser Ressource

Thumbnail

Das Dokument erscheint in:

Zur Kurzanzeige