Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Механическая и химическая обработка

dc.contributor.author	С.Н. Никифорова-Денисова
dc.date.accessioned	2016-02-22T14:51:59Z
dc.date.available	2016-02-22T14:51:59Z
dc.date.issued	1989
dc.identifier.isbn	506000306X
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/57863
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher	Высшая школа
dc.subject	Техника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subject	Technique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Механическая и химическая обработка
dc.type	other
dc.identifier.aich	I6ZBQCCNWR3LK6IHWS2DIZMYRQBCNNRE
dc.identifier.crc32	0FAF5B3A
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	F6EBFB8C6DF4E2163674E4B6A9642086
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	1246603
dc.identifier.md5	8c6eae8dffd119b64b7254efedeb6c41
dc.identifier.sha1	3XT55H53PQELTWYVCSBXV3LC4ULATIMV
dc.identifier.tth	75RJOFWN53KLLZWS3NNOX2MLVL5GBIH3VTUSJEI