| dc.contributor.author | Вавилов, Киселев, Мукашев. | |
| dc.date.accessioned | 2016-03-23T23:18:17Z | |
| dc.date.available | 2016-03-23T23:18:17Z | |
| dc.date.issued | 1990 | |
| dc.identifier.isbn | 5-02-014023-6 | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/66869 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрены процессы образования дефектов в кристаллическом кремнии. Дан анализ микроструктуры дефектов, приведены сведения об энергетическом спектре локальных электронных состояний, связанных с различными типами дефектов в объеме и на поверхности кристаллов кремния. Рассказано о процессах миграции дефектов, их взаимодействиях друг с другом я с примесями. Для физиков и инженеров, занятых фундаментальными исследованиями и решением практических задач современной "кремниевой" микроэлектроники, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Наука | |
| dc.subject | Техника | |
| dc.subject | Technique | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Дефекты в кремнии и на его поверхности | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | Y5TYH4ZUJH7SCQJRARBYVI6JAX4ZZQZ4 | |
| dc.identifier.crc32 | 295DFE16 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | EE6BB7FE8B751C4D8C3ADF786CF577A3 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | OL1633810M | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1720 | |
| dc.identifier.md5 | ED71500B4F024B21CD10D2DA9BE5EAAA | |
| dc.identifier.sha1 | N37TPSXNMJQWS2HIKUHRPKMRH4ZHCRRN | |
| dc.identifier.tth | O46ZD7J3UDXGHVEKOXWFA6DYZWEULWMKGQ6PEHI | |
