Показати скорочений опис матеріалу

Дефекты в кремнии и на его поверхности

dc.contributor.authorВавилов, Киселев, Мукашев.
dc.date.accessioned2016-03-23T23:18:17Z
dc.date.available2016-03-23T23:18:17Z
dc.date.issued1990
dc.identifier.isbn5-02-014023-6
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/66869
dc.description.abstractРассмотрены процессы образования дефектов в кристаллическом кремнии. Дан анализ микроструктуры дефектов, приведены сведения об энергетическом спектре локальных электронных состояний, связанных с различными типами дефектов в объеме и на поверхности кристаллов кремния. Рассказано о процессах миграции дефектов, их взаимодействиях друг с другом я с примесями. Для физиков и инженеров, занятых фундаментальными исследованиями и решением практических задач современной "кремниевой" микроэлектроники, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.
dc.language.isoRussian
dc.publisherНаука
dc.subjectТехника
dc.subjectTechnique
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleДефекты в кремнии и на его поверхности
dc.typeother
dc.identifier.aichY5TYH4ZUJH7SCQJRARBYVI6JAX4ZZQZ4
dc.identifier.crc32295DFE16
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkeyEE6BB7FE8B751C4D8C3ADF786CF577A3
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryidOL1633810M
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1720
dc.identifier.md5ED71500B4F024B21CD10D2DA9BE5EAAA
dc.identifier.sha1N37TPSXNMJQWS2HIKUHRPKMRH4ZHCRRN
dc.identifier.tthO46ZD7J3UDXGHVEKOXWFA6DYZWEULWMKGQ6PEHI


Долучені файли

Thumbnail
Name:
ed71500b4f024b21cd10d2da9be5ea ...
Розмір:
2.938Mb
Формат:
Unknown
Переглянути

Даний матеріал зустрічається у наступних фондах

Показати скорочений опис матеріалу