dc.contributor.author | А.И. Курносов | |
dc.date.accessioned | 2016-03-24T06:24:39Z | |
dc.date.available | 2016-03-24T06:24:39Z | |
dc.date.issued | 1989 | |
dc.identifier.isbn | 5-06-000304-3 | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/68698 | |
dc.description.abstract | | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Высшая школа | |
dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Материалы | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | THKIOCPEMALQ5NEUJBDSKF2CIBNQGQGS | |
dc.identifier.crc32 | 4F83CDE6 | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | E0CE08832B6B8B1B19DA01511A74CB1C | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1231349 | |
dc.identifier.md5 | a4b3ac98005b5b3fd81219a02a83e6d9 | |
dc.identifier.sha1 | W3NJWG3F4MI5WGMFZQTZUFIAMO3XKHRU | |
dc.identifier.tth | LORP5IEGWWKHXVOL5MQ3XNMEEAJQBAD2MKDT7HQ | |