Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Материалы

dc.contributor.author	А.И. Курносов
dc.date.accessioned	2016-03-24T06:24:39Z
dc.date.available	2016-03-24T06:24:39Z
dc.date.issued	1989
dc.identifier.isbn	5-06-000304-3
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/68698
dc.description.abstract
dc.language.iso	Russian
dc.publisher	Высшая школа
dc.subject	Техника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subject	Technique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.title	Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Материалы
dc.type	other
dc.identifier.aich	THKIOCPEMALQ5NEUJBDSKF2CIBNQGQGS
dc.identifier.crc32	4F83CDE6
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey	E0CE08832B6B8B1B19DA01511A74CB1C
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid	1231349
dc.identifier.md5	a4b3ac98005b5b3fd81219a02a83e6d9
dc.identifier.sha1	W3NJWG3F4MI5WGMFZQTZUFIAMO3XKHRU
dc.identifier.tth	LORP5IEGWWKHXVOL5MQ3XNMEEAJQBAD2MKDT7HQ