Физика тонких пленок

Abstract

Книга представляет собой третий том периодического издания «Физика тонких пленок*; первые два тома вышли в свет в русском переводе в 1967 г. Книга состоит из шести обзорных статей, в которых отражено современное состояние исследований в области тонких пленок. Статьи написаны известными американскими и английскими специалистами. Четыре статьи посвящены актуальным методическим проблемам получения пленок с заданными свойствами. В них рассматриваются следующие вопросы: управляемое нанесение пленок, получение покрытий методами катодного распыления, нанесение диэлектрических пленок из газовой фазы, методы активации и рекристаллизации пленок соединений АПВУ1. В двух последних статьях описаны механические свойства пленок и свойства пленок солей свинца, на основе которых изготовляются детекторы ИК-излучения. Книга рассчитана на широкий круг лиц, интересующихся вопросами физики тонких пленок, а также проблемами технологии их получения и методами исследования. Она представляет несомненный интерес для специалистов (научных работников и инженеров), работающих в области тонкопленочной электроники и в ряде других близких областей (полупроводниковая электроника, вакуумная техника, оптика и т. д.).