| dc.contributor.author | К.Пирс, А.Адамс, Л.Кац, Дж.Цай, Т.Сейдел, Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского. | |
| dc.date.accessioned | 2016-03-24T15:08:38Z | |
| dc.date.available | 2016-03-24T15:08:38Z | |
| dc.date.issued | 1986 | |
| dc.identifier.isbn | | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/79510 | |
| dc.description.abstract | Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Мир Редакция литературы по новой технике | |
| dc.subject | Техника\\Промышленое оборудование и технологии | |
| dc.subject | Technique\\industrial equipment and technology | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Технология СБИС: В 2-х кн | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | U5KYQXDO4WCCAQMYOLSFQMJYRBBYX52X | |
| dc.identifier.crc32 | 34B83405 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | FAA30474239E3AF53814A1C552637EBC | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1213797 | |
| dc.identifier.md5 | f1b7b26faf2d06be12500847f26aaf66 | |
| dc.identifier.sha1 | 325UHXPQ5HH6UXURZ7V4P2ZBUXI7KSHI | |
| dc.identifier.tth | P4CNDNHPDJU6MDEYI4SNKERBYM6THBQZD5VEUYQ | |
