Показать сокращенную информацию

Технология СБИС: В 2-х кн

dc.contributor.authorК.Пирс, А.Адамс, Л.Кац, Дж.Цай, Т.Сейдел, Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
dc.date.accessioned2016-03-24T15:08:38Z
dc.date.available2016-03-24T15:08:38Z
dc.date.issued1986
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/79510
dc.description.abstractАннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
dc.language.isoRussian
dc.publisherМир Редакция литературы по новой технике
dc.subjectТехника\\Промышленое оборудование и технологии
dc.subjectTechnique\\industrial equipment and technology
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleТехнология СБИС: В 2-х кн
dc.typeother
dc.identifier.aichU5KYQXDO4WCCAQMYOLSFQMJYRBBYX52X
dc.identifier.crc3234B83405
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkeyFAA30474239E3AF53814A1C552637EBC
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1213797
dc.identifier.md5f1b7b26faf2d06be12500847f26aaf66
dc.identifier.sha1325UHXPQ5HH6UXURZ7V4P2ZBUXI7KSHI
dc.identifier.tthP4CNDNHPDJU6MDEYI4SNKERBYM6THBQZD5VEUYQ


Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя:
f1b7b26faf2d06be12500847f26aaf ...
Размер:
5.417Mb
Формат:
Unknown
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию