Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Date
12/1/1995Author
Юрий Райзер,Михаил Шнейдер,Николай Яценко (Авт.)
Metadata
Show full item recordAbstract
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров.
Collections
- Libgen [81666]