Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие для вузов по специальностям «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы»

Abstract

В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов н интегральных микросхем. В 3-е издание (2-е - в 1979 г.) введены новые разделы, посвященные технологическим процессам радиационной обработки материалов и приборов, новейшим конструкциям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам.