dc.contributor.author | А.И.Курносов, В.В.Юдин. | |
dc.date.accessioned | 2016-02-21T23:44:37Z | |
dc.date.available | 2016-02-21T23:44:37Z | |
dc.date.issued | 1986 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/40911 | |
dc.description.abstract | В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов н интегральных микросхем. В 3-е издание (2-е - в 1979 г.) введены новые разделы, посвященные технологическим процессам радиационной обработки материалов и приборов, новейшим конструкциям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам. | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Высшая школа | |
dc.subject | Образование | |
dc.subject | Education | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие для вузов по специальностям «Полупроводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые приборы» | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | IHAHYIWHIJNEV46CY3ZRGV3AEN6JUWXI | |
dc.identifier.crc32 | D46CA0DF | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | A2FBEA0422DB099BD0E58EC4D8CCE284 | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1212196 | |
dc.identifier.md5 | 3cd4cd6c795904cf08fb8a1d56ba8a0a | |
dc.identifier.sha1 | 4TAYL47UED2F4E7OOAIMUOQ57IUF3PQX | |
dc.identifier.tth | 32GWFLRQGZT5N2KKGGDM4ERQOHUTIJDFH3TCAZY | |