Технология изготовления ферромагнитных пленок

Abstract

Рассмотрен ряд требований, предъяв- ляемых к параметрам магнитопленочных элементов, используемых в устройствах хра- нения дискретной информации. Рассматри- вается зависимость физических свойств пле- нок от их химического состава, линейных размеров и особенностей процесса изготов- ления. Описываются различные способы из- готовления магнитных пленок: вакуумное испарение, электролиз, катодное распыле- ние, химическое осаждение. Дано краткое описание установок для изготовления пле- нок. Книга рассчитана на инженеров, рабо- тающих в области вычислительной техники.