| dc.contributor.author | Виноградов М.И. | |
| dc.date.accessioned | 2016-03-23T23:15:48Z | |
| dc.date.available | 2016-03-23T23:15:48Z | |
| dc.date.issued | 1989 | |
| dc.identifier.isbn | 5-217-00726-5 | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/66833 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-лучевой обработки и его основные элементы. Рассмотрены технологические-процессы, в которых используются ионно-лучевые методы обработки: очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных пучков. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Машиностроение | |
| dc.subject | Техника | |
| dc.subject | Technique | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | I57KSE6UCY72CTKUWPAU2F6WCMMWK4A3 | |
| dc.identifier.crc32 | 8F89B4FA | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | F5C67DF17B0D6216EFABECED6083B8B0 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 68090 | |
| dc.identifier.md5 | ECF487F8A4F854B2DA7834087CD721A2 | |
| dc.identifier.sha1 | ZBE4THKVQ2U4AFCNOA2ZCXILEB5MJ6DN | |
| dc.identifier.tth | AUEXYLLU2KE3PJLRVM3R3EJOPDLRTWKZ636LZTY | |
