Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии

Abstract

Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-лучевой обработки и его основные элементы. Рассмотрены технологические-процессы, в которых используются ионно-лучевые методы обработки: очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных пучков.