Технология полупроводниковых материалов

Abstract

В книге изложены основы современной технологии полупроводниковых материалов — германия и кремния. Наряду с теоретическими основами получения однородных и совершенных монокристаллов с заданными физическими свойствами, рассмотрены основные свойства полупроводниковых материалов, распределение примесей в кристаллах, методы выращивания и очистки монокристаллов, а также применяемая аппаратура. Освещены вопросы влияния термической обработки на свойства германия и кремния и методы получения монокристаллов германия и кремния с электронно-дырочными переходами. Специальная глава посвящена методам производственного контроля качества полупроводниковых материалов. В настоящую книгу — первую из четырех книг серии «Полупроводниковые материалы и приборы» — включены все материалы из трех томов американского издания «Transistor Technology», относящиеся к вопросам технологии полупроводниковых материалов. Книга может служить пособием для научных работников и инженеров-технологов, работающих в области полупроводниковой металлургии, а также для аспирантов и студентов высших учебных заведений.