• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • English 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Login
View Item 
  •   DSpace Home
  • Genofond
  • Libgen
  • View Item
  •   DSpace Home
  • Genofond
  • Libgen
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения

Thumbnail
View/Open
58954bc4ab35a053b2295dd9920ef93b.djvu (5.837Mb)
Date
12/1/1995
Author
Юрий Райзер,Михаил Шнейдер,Николай Яценко (Авт.)
Metadata
Show full item record
Abstract
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров.
URI
http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/9775
Collections
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback
Theme by 
Atmire NV
 

 

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback
Theme by 
Atmire NV