| dc.contributor.author | Юрий Райзер,Михаил Шнейдер,Николай Яценко (Авт.) | |
| dc.date.accessioned | 2016-02-19T18:29:27Z | |
| dc.date.available | 2016-02-19T18:29:27Z | |
| dc.date.issued | 12/1/1995 | |
| dc.identifier.isbn | 5-7417-0006-3, 5-02-015184-X | |
| dc.identifier.issn | | |
| dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/9775 | |
| dc.description.abstract | Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров. | |
| dc.language.iso | Russian | |
| dc.publisher | Наука,ФИЗМАТЛИТ,МФТИ | |
| dc.subject | Физика\\Электричество и магнетизм | |
| dc.subject | Physics\\Electricity and Magnetism | |
| dc.subject.ddc | | |
| dc.subject.lcc | | |
| dc.title | Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения | |
| dc.type | other | |
| dc.identifier.aich | TJYHZGBLWMNHWCR32GMLWUWSPRKBSLJ7 | |
| dc.identifier.crc32 | 58B7CAC4 | |
| dc.identifier.doi | | |
| dc.identifier.edonkey | 8480067D9888A2E54239422B5E60DB53 | |
| dc.identifier.googlebookid | | |
| dc.identifier.openlibraryid | | |
| dc.identifier.udk | | |
| dc.identifier.bbk | | |
| dc.identifier.libgenid | 1399031 | |
| dc.identifier.md5 | 58954bc4ab35a053b2295dd9920ef93b | |
| dc.identifier.sha1 | NQTCB3EJBRBNGS5FCFGPSTXDOOYP4JFL | |
| dc.identifier.tth | GSTHX7MST6VVULOJGCOQ7KNSPS4VKZOOTTVBVIA | |
