Введение в микроэлектронику

Abstract

Книга является переводом первого тома 11-томной серии по микроэлектронике,написанной крупными японскими специалистами.В эту серию входят книги,дающие исчерпывающий обзор современного состояния методов конструирования,технологии производства и применений интегральных схем.Излагаются методы проектирования и изготовления интегральных схем.Излагаются методы проектирования и изготовления интегральных схем,а также их базовые структуры.Большое внимание уделено новой технологии изготовления схем,обеспечивающей получение практически бездефектных приборов.