Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. Учебник для техникумов

Abstract

Аннотация издательства: Изложены конструкции и принцип действия современного оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы построения и вопросы эксплуатации промышленных роботов, систем управления с использованием ЭВМ н микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного, химико-технологического, фото,-рентгено, электронно-литографического оборудования. Для учащихся техникумов. Редакция литературы по конструированию и технологии производства радиоэлектронной аппаратуры.