Летучие неорганические гидриды особой чистоты

Abstract

Летучие гидриды элементов III-VI групп периодической системы находят все более широкое применение для получения элементов особой чистоты и для выращивания и легирования эпитаксиалышх полупроводниковых слоев. Монография содержит полный обзор исследований но получению, глубокой очистке гидридов и методам их анализа, определению природы примесей и их происхождения. Подробно рассматриваются физико-химические свойства гидридов, термодинамика и кинетика реакций их термического разложения с выделением гидридобразующего элемента.