Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме

Abstract

Изложены основы технологии получения покрытий испарением и конденсацией в вакууме, описаны конструкции испарительных систем, вакуумного оборудования для получения покрытий. Рассмотрены способы подготовки поверхности изделий перед металлизацией, даны рекомендации по химической, электрофизической и термической подготовке поверхностей подложек и внутрикамерных устройств. Рассмотрено получение покрытий ионным и термическим напылением металлов и сплавов, карбидов, нитридов и их аналогов. Для операторов 3-6-го разрядов установок по нанесению покрытий в вакууме, может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих отраслей.

Несмотря на значительный объем литературных данных в области теории испарения и конденсации металлов и сплавов в вакууме, исследований структуры, свойств и возможных областей применения вакуумных покрытий, в отечественной литературе практически нет информации для обслуживающего персонала по правилам эксплуатации установок, технике ведения процесса нанесения покрытий, подготовке поверхности различных металлических и неметаллических подложек перед нанесением покрытий. Эти обстоятельства определили необходимость создания систематизированного справочника для операторов установок по нанесению покрытий в вакууме. В основе книги результаты экспериментальных исследований, выполненных авторами в Одесском технологическом институте им. М.В.Ломоносова, практический опыт, накопленный сотрудниками лаборатории в период 1961-1988 гг. по освоению технологии нанесения защитных вакуумных покрытий, а также справочно-информационый материал, собранный авторами на основании обобщения и систематизации научного и производственного опыта отечественных и зарубежных исследователей в области теории и практики вакуумной металлизации. Материал справочника изложен в порядке его усложнения и соответствует перечню работ и рабочих профессий, регламентированных ?Единым тарифно-квалификационным справочником работ и рабочих профессий? по специальности ?Оператор установок по нанесению покрытий в вакууме?.